CMPパッドコンディショナーおよびダイヤモンド工具

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新日鉄住金マテリアルズ(株) CMPドレッサーユニット

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CMPパッドコンディショナーとは、ダイヤモンドをステンレスなどの金属に接合した工具です。

またダイヤモンド工具には、下記のような特長があります。

  • 工具形状は種々の形状が作成できます。
  • 工具サイズは数ミリメートルの小さなものから、1メートルを超える大きなものまで作成できます。
  • ダイヤモンドは単結晶ダイヤモンド、破砕ダイヤモンド、多結晶ダイヤモンドなど、種々のダイヤモンドで作成できます。
  • ダイヤモンドサイズは10メッシュ~2000メッシュまで、幅広く対応できます。

こんな用途があります

  • 半導体用CMPパッドコンディショナー
  • ハードディスク基板用CMPパッドコンディショナー
  • ガラス、セラミックス、化合物半導体基板などの各種硬脆材料の加工工具